光谱共焦传感器行业应用|薄膜高度差扫描

01|检测需求:扫描薄膜圆圈的高度差

 

 

02|检测方式

客户要求扫描薄膜圆圈的高度差,根据观察样品我们选择立仪科技D40A30镜头搭配H系列控制器进行测量

03|光谱共焦测量结果

 

薄膜圆圈的高度差轮廓

 

 

04|光谱共焦侧头

 

D40A30侧头相关参数

 

 

05|H系列控制器

 

H系列控制器相关参数

 

 

 

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